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贺德克压力传感器的振膜式谐振压力原理

2020-04-20 15:26

       贺德克压力传感器振膜式谐振压力传感器,其振膜为一个平膜片,且与环形壳体做成整体结构,它和基座构成密封的压力测量室,被测压力经过导压管进入压力测量室内。参考压力室可以通大气用于测量表压,也可以抽成真空测量绝压。装于基座顶部的电磁线圈作为激振源给膜片提供激振力,当激振频率与膜片固有频率一致时,膜片产生谐振。没有压力时,膜片是平的,当有压力作用时,膜片受力变形,其张紧力增加,则相应的谐振频率也随之增加,频率随压力变化且为单值函数关系。在膜片上粘贴有应变片,它可以输出一个与谐振频率相同的信号。此信号经放大器放大后,再反馈给激振线圈以维持膜片的连续振动,构成一个闭环正反馈自激振荡系统。
 
      贺德克压力传感器常用的压电材料有天然的压电晶体(如石英晶体)和压电陶瓷(如钛酸钡)两大类。压力传感器的某些电介质沿着某一个方向受力而发生机械变形(压缩或伸长)时,其内部将发生极化现象,而在其某些表面上会产生电荷。当外力去掉后,它又会重新回到不带电的状态,此现象称为“压电效应”。

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